兴建年产一午吨电子级多晶硅工厂的思考

摘要

半导体材料是半导体工业的基础材料。在半导体材料中用量最大和用途最广泛的是半导体硅。当今95％以上的半导体器件是用硅材料制造的,集成电路的99％以上是硅集成电路。硅材料支撑着种类繁多、意义重大的半导体工业。电子级多晶硅是单晶硅片的起始材料,因此多晶硅的重要性是十分明显的。