锌还原四氯化硅制备多晶硅技术的国内外进展

摘要

@@ 在光伏产业中,多晶硅的生产工艺主要有西门子法/改良西门子法、硅烷热分解法、流化床法以及区域熔炼法[1];其中,采用三氯氢硅(SiHCl3)作为原料,改进西门子法供应的太阳能级多晶硅占整个世界太阳能级多晶硅供应量的70%～80%[2].在国外,每千克太阳能级多晶硅会产生10～15kg的四氯化硅(SiCl4),通过SiCl4的氢化还原闭环工艺循环后,SiCl4的排放量仍然高达5～10kg.由于SiCl4对人、生物及环境的危害性较大,因此,SiCl4的环境危害和巨量储存问题成为了多晶硅企业急需解决的重大问题.