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Sol-gel法制备(Ba0.95Ca0.05)(Sn0.05Ti0.95)O3薄膜及升温速度对形貌的影响

     

摘要

用溶胶-凝胶法制备了光滑的(Ba0.95Ca0.05)(Sn0.05Ti0.95)O3(以下称BCST)薄膜.研究了热处理的升温速率和处理温度对薄膜形貌的影响.SEM测试结果表明快速升温和低温(刚高出成晶温度)有利于获得好质量的BCST薄膜.

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