超声分子束研究激光诱导Cl2和Ta表面反应动态学

摘要

本文研究了在三种不同波长的脉冲激光(365 nm,560 nm和1064 nm)辐照下超声Cl_2分子束与多晶Ta表面的化学反应动态学.由四极质谱和飞行时间增(TOF)测定了产物的质量分布和速度分布.该反应的主要产物为TaCl,TaCl_2,TaCl_3及TaCl_4;它们的TOF谱都可用Maxwell-Boltzmann分布拟合,所得的平动温度分别在500K—1500K范围内.测定了各种产物相对产率与激光能量密度和入的Cl_2分子平动能的关系.此外,对此气-固表面反应的机理进行了讨论。