中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院太赫兹固态技术重点实验室,上海200050;
中国科学院大学,材料与光电研究中心,北京100049;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院太赫兹固态技术重点实验室,上海200050;
中国科学院大学,材料与光电研究中心,北京100049;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院太赫兹固态技术重点实验室,上海200050;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院太赫兹固态技术重点实验室,上海200050;
中国科学院大学,材料与光电研究中心,北京100049;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院太赫兹固态技术重点实验室,上海200050;
中国科学院大学,材料与光电研究中心,北京100049;