CF4气体ICP等离子体中的双温电子特性

摘要

使用朗谬尔探针方法研究了低压CF4气体感应耦合等离子体(ICP)的放电特性.结果表明,CF4等离子体的电子呈现双温分布:一类是密度低、能量高的快电子,另一类是密度高、能量低的慢电子.快电子温度The、慢电子温度Tce以及它们的平均电子温度Te随射频输入功率的增加而下降;而它们的密度nhe,nce和ne随功率的增加而上升.从电子与气体粒子碰撞能量平衡的角度解释了双温电子特性与射频输入功率之间的关系.