孔径型超分辨近场结构光盘的掩膜热效应分析

摘要

基于高斯聚焦激光束热效应的超分辨近场结构光盘存储(孔径型Super-RENS)中,应用光学特性导纳矩阵建立的盘片光传导模型,采用有限元分析软件FEMLAB对不同激光功率和脉宽下的Sb掩膜层的孔径形成情况进行数值仿真.结果表明,当一定脉宽的激光功率超过介质的阈值时,掩膜层将有超分辨孔径形成,且孔径大小随功率的增大而增大.理论分析与孔径型Super-RENS光盘样片在不同激光功率下进行写入的实验结果相符,说明光热效应可以较好地描述孔径型Super-RENS光盘掩膜层孔径形成的过程.