Mo/Si多层膜在质子辐照下反射率的变化

摘要

为了检验应用在极紫外波段空间太阳望远镜上Mo/Si多层膜反射镜在空间辐射环境下反射率的变化情况,模拟了部分空间太阳望远镜运行轨道的辐射环境,利用不同能量和剂量的质子对Mo/Si多层膜反射镜进行辐照实验.辐照前后反射率测量结果显示,由于带电粒子的辐照损伤,质子辐照会使Mo/Si多层膜反射镜的反射率降低,且质子能量越低、剂量越大,对多层膜的反射率影响越明显.当质子能量E=160 keV,剂量φ=6×1011/mm2时,反射率降低4.1%;能量E=100 keV,剂量φ=6×1011/mm2时,反射率降低5.7%;能量E=50 keV,剂量φ=8×1012/mm2时,反射率降低10.4%.用原子力显微镜测量辐照后Mo/Si多层膜反射镜的表面粗糙度比辐照前明显增加,致使散射光线能量逐渐增大并最终导致反射率的降低.