吉林大学电子科学与工程学院;
集成光电子学国家重点联合实验室;
长春 130012;
中国科学院光电技术研究所;
微细加工光学技术国家重点实验室;
成都 610209;
西安交通大学机械工程学院;
西安 710049;
吉林大学电子科学与工程学院;
集成光电子学国家重点联合实验室;
长春 130012;
吉林大学电子科学与工程学院;
集成光电子学国家重点联合实验室;
长春 130012;
吉林大学电子科学与工程学院;
集成光电子学国家重点联合实验室;
长春 130012;