在片LRRM校准算法研究

摘要

研究了LRRM(传输线-反射-反射-匹配负载)校准算法,完善了负载标准测量模型,通过参考面平移将测量结果由被测件中间平移到探针端面,基于MATLAB开发平台编制了校准软件。用研究的校准方法和商用校准方法分别对同一在片散射参数测量系统进行校准,校准后的系统测量相同的短路标准和衰减器。测量结果显示,在100 MHz~110 GHz频段范围内,反射幅度最大偏差0.02,反射相位最大偏差0.3°,传输幅度最大偏差0.05 dB,传输相位最大偏差0.5°,能够满足国内在片散射参数校准和测量需求。