一种基于微分干涉原理的光学形貌仪

摘要

提出了一种基于微分干涉原理的光学形貌仪，由于采用共光路干涉体系仪器对机构振动、空气扰动以及温度变化等外界干扰不敏感，并且不需标准参考反射镜，实践结果表明，光学形貌仪的横向分辨率为0.5um，在不采取任何隔振和环境控制措施的一般场合下，形貌仪具有优于1nm的垂直分辨率和重复测量精度。