利用五帧相移算法进行纳米台阶高度的表征

摘要

描述了一种用于纳米级台阶高度表征的相移显微干涉测量方法,它被广泛用于高精度的表面侧量上.系统采用集成了高分辨力(0.7 nm)电容传感器的纳米定位器实现移相、健壮的Hariharan五帧相移算法,利用ISO5436-1:2000国际标准对纳米台阶高度结构进行了评价.结果表明,该方法具有无损、快速和易于在晶片上进行的特点.系统测量的精度在纳米量级,重复性在亚纳米量级.