利用牛顿环测量光反射位相差的研究

摘要

干涉法直接测量量块长度时的位相差是一个重要的误差来源.我国现在位相测量方法是堆积法,该方法需要很好的研合水平,而且重复性差.提出了一种利用牛顿环来测量光反射位相差的新方法.将一个特制的小透镜分别放置在被测量块和平晶上,在小透镜的下表面和量块或平晶上表面之间形成等厚干涉的同心圆环,即牛顿环.分析牛顿环的图象可以测量反射相移和位相差.使用该方法研制的测量装置对量块和平晶表面的光反射位相差进行了测量试验,其测量结果的标准不确定度小于5 nm.