高精度直径和形状综合测量技术的研究

摘要

直径和形状参量是表征回转体工件不同特性的两个参量,在常规的高精度测量中直径和形状是分别测量再合成表征的,其合成测量不确定度会增大,测量时间比较长.为了满足回转体类工件超精密制造精度不断提高的要求,需要研究不确定度为0.1μm的直径和形状综合测量技术和方法.根据直径和形状的测量原理、实现和评价方法间的差异,提出了制约超精密直径和形状综合测量准确度的几个关键技术难点并分析了其相互制约的原因,在解决了这些关键技术难点后,研制了高精度直径和形状综合测量装置,该装置可一次装夹调整工件后,直接测量直径和形状参量.