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集成电路工艺模拟软件SSUPREM4的校验

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摘要

本文对知名的集成电路工艺模拟软件SSUPREM4进行了较仔细的校验,用SSUPREM4模拟了氧化、扩散工艺,并同实验值进行了比较,模拟值和实验值的偏差在10%以内,与集成电路器件模拟软件S-PISCES联用校验了SSUPREM4的全工序模拟结果,校验结果有较大参考价值.

著录项

来源
《电子学报》 |1999年第8期|26-29|共4页
作者
朱兆旻; 阮刚; 庞海舟; 冒慧敏;
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作者单位

复旦大学电子工程系,上海,200433;

复旦大学电子工程系,上海,200433;

上海先进半导体制造有限公司,上海,200233;

上海先进半导体制造有限公司,上海,200233;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电子元件、组件;
关键词
集成电路; 工艺模拟; 软件校验;

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