三(2,4-戊二酮)合铱(Ⅲ)的热分解行为

摘要

采用TG-DTA及GC-MS联用分析手段研究了CVD(Chemical Vapor Depo-sition,化学气相沉积)铱的前驱体三(2,4-戊二酮)合铱(Ⅲ)的热分解行为.结果表明,在氧气气氛下,三(2,4-戊二酮)合铱(Ⅲ)在258℃时开始燃烧分解,并伴随着升华失重,燃烧释放的热量远大于升华所需的热量,气相中的主要分解产物为2,4-戊二酮、二氧化碳和2,5-二甲基-3-乙酰基呋喃等.而在惰性的氩气气氛下,三(2,4-戊二酮)合铱(Ⅲ)从239℃开始大量吸热升华并明显失重,它不会燃烧,只能随着温度的升高加快升华,当温度高于300℃后开始分解,气相中的主要分解产物为2,4-戊二酮、3-丁烯-2-酮和2,5-二甲基呋喃等.三(2,4-戊二酮)合铱(Ⅲ)在氧气气氛下由于能够比较充分地氧化,因而分解产物种类比在惰性气氛下由于自身分解而生成的产物种类少并且稳定.对不同气氛下所制备铱涂层的SEM研究结果表明,以三(2,4-戊二酮)合铱(Ⅲ)作为前驱体制备铱涂层时,以掺有适量氧气的惰性气体(比如氩气流量为50mL·min-1,氧气流量为3 mL·min-1)作为载气能得到致密光亮的铱涂层.本文还对三(2,4-戊二酮)合铱(Ⅲ)主要热分解产物的自由基生成机理进行了探讨.