电铸参数对铜基平面微弹簧疲劳性能的影响

摘要

平面微弹簧性能直接影响着微机电系统(MEMS)的效果和可靠性,研制长寿命的平面微弹簧对于保证微机电系统可靠性具有重要的意义.研究了占空比、电流密度、电源属性对电铸平面微弹簧质量的影响,并基于正交实验设计方法优化了工艺;制备了尺寸精度合适和疲劳性能良好的平面微弹簧,满足了MEMS的需要.研究表明:大的占空比会降低微弹簧的疲劳性能;双脉冲电源电铸的平面微弹簧疲劳性能优于直流电源和单脉冲电源电铸的;最优工艺为采用双脉冲电源、电流密度3 A/dm2、正向占空比10％;反向占空比10％.平面微弹簧疲劳寿命在定位移0.2mm的情况下,最大517次.