压电陶瓷微位移器的实验研究

摘要

介绍了压电陶瓷微位移器的动、静态特性及其测量方法和实际测量系统。实验研究了逆夺电效应型和电致伸缩型两种压电材料所构成的微位移器的性能。逆压电效应型微位移器位移线性度为０．１１％，重复精度±０．０１μｍ，电压－位移灵敏度约为１μｍ／１００Ｖ。在２００Ｈｚ频段内，幅频特性平直，相频曲线呈线性，相位滞后量小于２５°；电致伸缩型微位移器的电压－位适用于线性度要求较高的精密控制场合；而电致伸缩型则更适用于行