Process Development of Nanoimprint Lithography for Selective Area Growth of III-V Materials on Silicon

著录项

• 作者

  Makoutz, Emily.;

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• 作者单位

  Colorado School of Mines.;

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• 授予单位 Colorado School of Mines.;
• 学科
• 学位 M.S.
• 年度 2017
• 页码 64 p.
• 总页数 64
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 AAI10680387;
• 关键词

  III-V semiconductors; Nanofabrication; Nanoimprint lithography;

  机译：III-V半导体;纳米制备;Nanoimprint光刻;