University of Illinois at Urbana-Champaign.;
机译:高能粒子轰击对等离子辅助PVD Cr薄膜残余应力,微应变和晶粒尺寸的影响
机译:时域和高能轰击对非晶衬底上金属薄膜成核和聚结的影响
机译:透明导电氧化物薄膜的反应磁控溅射:高能粒子(离子)轰击的作用
机译:薄膜充满活力粒子轰击期间的残余应力演变
机译:等离子辅助定向气相沉积,用于合成锂磷氧氮化物薄膜。
机译:从溶液中生长氢化锂薄膜:向溶液原子层沉积锂化薄膜
机译:高能轰击对溅射氧化锌膜结构形成的影响:原子生长模型的发展及其在调整薄膜性能中的应用