University of Michigan.;
机译:快速热处理器的自适应运行间控制和监视
机译:连续运行PID控制器和SPC监控的集成设计,可消除过程干扰
机译:使用神经网络建模的等离子蚀刻工艺的运行到运行过程控制
机译:在“运行到运行”控制下监视采样的过程数据:应用于半导体过程
机译:半导体制造中使用的运行到运行控制系统的性能监视。
机译:用于监测药品单位操作的过程分析技术工具:连续流程验证的控制策略
机译:评估运行过程控制中的测量噪声影响:通过卡尔曼滤波器扩展EWMA控制器