Stanford University.;
机译:基于改进的多孔硅微加工技术的集成a-Si:B微辐射热计阵列
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机译:集成的聚合物薄膜大孔硅微系统。
机译:基于散装和表面微机械化技术的大型偏转弹性铰链的三维运动转换微血的发展
机译:通过金属有机气相外延技术开发用于压电MEMS / NEMS应用的表面微机械氮化铝空气桥。
机译:磁流变抛光技术对钛管进行环形表面微加工
机译:用于mEms集成微系统的稳健气密封装技术。
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