The University of Arizona.;
机译:EUV掩模材料颗粒污染物的粘附和去除行为
机译:使用碱性溶液和有机溶剂的混合物除去EUV掩模的Ru覆盖层的EUV暴露的烃
机译:利用EUV脉冲激发的散射或发光辐射,检测激光等离子EUV源强烈辐照引起的材料表面变化
机译:EUV雾度缺陷的研究:EUV掩模表面上的掩模清洁剂的分子行为
机译:压电表面声波器件用于EUV掩模颗粒去除的开发和仿真。
机译:表面毛细管波的共振激发以增强激光材料加工的材料去除率
机译:从EUV掩模制造中使用的材料表面去除纳米颗粒