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【6h】

电子工艺有害气体CF高温分解特性研究

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独创性声明

1绪论

1.1氯氟烃全氟烃气体对大气环境的危害

1.1.1大气环境与温室效应

1.1.2改变大气状况的行动

1.1.3 CFCs与PFCs介绍

1.2现有的PFCs排放控制技术

1.2.1替代化学物法

1.2.2生产过程优化法

1.2.3回收再利用

1.2.4破坏分解法

1.3本研究的思路与方法

1.3.1高温空气燃烧技术介绍

1.3.2高温空气燃烧的工作原理:

1.3.3高温空气燃烧的关键部件

1.3.4采用高温空气燃烧技术的优势

1.3.5 CF4分解机理

2实验装置与实验方案

2.1蓄热式高温空气燃烧系统

2.1.1蓄热式燃烧室

2.1.2换向装置

2.1.3燃烧室

2.1.4水冷系统

2.1.5气体管路系统

2.1.6温度采集系统及烟气分析系统

2.2CF4气体浓度分析系统

2.3实验方案

2.3.1工作安排

2.3.2实验中重点注意和解决的问题

2.3.3实验结果分析方法

3蓄热式换热器的数学模型

3.1蓄热式换热器的理论模型

3.1.1类比模型

3.1.2数值计算模型

3.1.3蓄热式热交换理论模型的比较

3.2建模与数值计算

3.2.1建立数学模型的假设条件

3.2.2模型的建立

3.2.3换热系数的计算

4蓄热传热特性实验结果与分析

4.1热工操作参数对热工指标的影响

4.1.1空气、烟气出口瞬时温度

4.1.2蓄热体前后的温度变化

4.1.3换向时间对烟气、空气出口平均温度的影响

4.1.4温度效率与余热回收效率

4.1.5燃烧室温度均匀性比较

4.1.6辐射管温度分布的均匀性

4.2热工操作参数对烟气分析指标的影响

4.2.1换向周期对氧气残余浓度的影响

4.2.2不同过量空气系数对氧气残余浓度的影响

4.2.3不同过量空气系数、不同换向周期对NOx的影响

4.2.4不同换向周期对CO的影响

4.3蓄热室的热平衡计算

4.3.1蓄热体参数

4.3.2燃气参数及计算

4.3.3 ε-NTU计算方法

4.4蓄热室阻力特性的研究

5工艺有害气体的高温分解实验

5.1实验参数的计算

5.1.1水蒸汽浓度的计算

5.1.2分解前CF4浓度的计算

5.2CF4与CO2的分离

5.3CF4分解实验结果及分解规律分析

5.3.1水蒸汽浓度对CF4分解率的影响

5.3.2 CF4浓度对分解率的影响

5.3.3温度对分解率的影响

5.3.4加入水蒸汽对分解率的影响

5.3.5 H2O与CF4物质的量之比对分解率的影响

5.3.6停留时间对分解率的影响

5.4实验再现性分析

6结论与展望

6.1结论

6.2展望与未来的工作建议

参考文献

攻读学位期间发表的论文

衷心感谢

附录A全部实验设备与仪器

附录B不同换向周期空、烟气出口温度的变化

附录C余热回收效率与温度效率计算数据表

附录DCF4分解实验数据总表

展开▼

摘要

本研究在实验室规模上采用高温破坏分解方法,针对全氟烃气体中比例较高且较难分解的CF4气体,利用其在高温下与H2O发生反应这一机理进行高温环境下的分解实验。通过改变反应中的H2O浓度、CF4浓度、反应温度,停留时间等重要参数,探索CF4的分解规律,从而为将来实现生产过程的控制提供参考。  本研究中高温分解环境是利用高温空气燃烧技术建立的蓄热式燃烧分解炉。该实验装置可将空气预热至900℃,排烟温度降至150℃以下,余热回收效率高于70﹪,燃烧室温度分布均匀,燃烧充分,NOx排放低于300mg/m3。

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