可擦写磁光盘用稀土磁光靶材研究

摘要

放电等离子烧结技术(Spark Plasma Sintering,简称SPS技术)是一种先进的材料制备技术,具有烧结温度低、时间短和烧结效率高等特点.该文采用这一技术成功制备了新型Ti基底多层复合TbFeCo磁光靶材.与传统TbFeCo磁光靶材相比,新靶材具有组织单相性好、致密度高以及强度和韧性良好等优点.此外,该研究新开发的多过渡层复合靶材制备技术在解决靶材在溅射过程中由于热量积聚而碎裂以及回收率低等问题上取得了较好的效果,提供了一种优质靶材制备的实用新技术.采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微分析(SEM)、电子能谱分析(EDX)、振动样品磁强计(VSM)等分析手段并结合理论分析,系统的研究了TbFeCo合金均匀化退火工艺、TbFeCo靶材的放电等离子烧结工艺以及多过渡层复合靶材的制备技术.

目录

文摘

英文文摘

第1章:绪论

1.1磁光存储技术的发展

1.2磁光记录原理和记录介质

1.3磁光靶材的制备工艺

1.4放电等离子烧结技术(SPS)

1.5本课题的研究目标、内容

第2章实验方法与原理

2.1实验方法

2.1.1成分选择

2.1.2制备工艺

2.1.3样品测试

2.2实验原理

2.2.1感应加热悬浮熔炼原理

2.2.2放电等离子烧结原理

第3章TbFeCo合金磁光靶材的制备及性能测试

3.1铸态TbFeCo合金的均匀化退火研究

3.1.1 Tb26Fe66Co8合金的铸态组织分析

3.1.2合金的均匀化退火过程研究

3.2 SPS烧结工艺研究

3.2.1烧结温度对靶材组织及致密度的影响

3.2.2升温速率对靶材组织及致密度的影响

3.2.3烧结压力对靶材致密度的影响

3.3 TbFeCo磁光靶材的饱和磁化强度和矫顽力

3.4本章小结

第4章SPS烧结复合靶材的工艺研究

4.1复合靶材的制备

4.1.1钼基复合靶材的制备

4.1.2钛基复合靶材的制备

4.2磁光靶材的实用化探索

4.3本章小结

结论

参考文献

攻读硕士学位期间所发表的学术论文

致谢