高温热端部件晶体测温判读技术研究

目录

声明

第一章 绪 论

1.1 研究工作背景及意义

1.2 国内外热端部件测温技术研究现状

1.3 选题依据和研究内容

第二章 SiC晶体测温判读技术研究

2.1 SiC辐照晶体测温原理

2.2 SiC晶体的切割与热处理实验

2.3 SiC晶体微观结构的测试分析方法

2.4 SiC晶体的判读算法研究

2.5 本章小结

第三章 AlN晶体薄膜测温判读技术研究

3.1 AlN晶体薄膜的制备方法

3.2 AlN晶体薄膜的表征方法

3.3 弱取向AlN薄膜的制备与表征

3.4 AlN薄膜的热处理与表征

3.5 AlN晶体薄膜判读算法研究

3.6 本章小结

第四章 微型晶体温度判读软件开发

4.1 时间历程曲线处理

4.2 温度判读数据库搭建

4.3 微型晶体温度判读可视化软件开发

4.4 判读技术应用

4.5 本章小结

第五章 结论与展望

5.1 结论

5.2 展望

致谢

参考文献

附录

攻硕期间取得的成果