离子束辅助沉积Ag-Ti-Cu/MoS2复合薄膜组织及性能研究

目录

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致谢

第1章 绪论

1.1 研究背景及意义

1.2 二硫化钼固体润滑剂

1.2.1 MoS2的结构

1.2.2 MoS2的摩擦学应用

1.2.3 MoS2低摩擦磨损机理

1.3 掺杂元素与固体润滑剂的协同效应

1.4 研究思路、内容与意义

1.4.1 研究思路

1.4.2 研究内容

1.4.3 研究意义

第2章 复合薄膜设计、制备及实验方法

2.1 MoS2基复合薄膜设计

2.1.1 复合薄膜结构理论

2.1.2 掺杂元素的选择

2.1.3 基材的选择

2.2 复合薄膜制备技术介绍

2.2.1 磁控溅射技术

2.2.2 离子束辅助气相沉积技术

2.2.3 高能离子束轰击源+磁控溅射源+低能离子束辅助源制备技术

2.3 复合薄膜 IBAD制备试验

2.3.1 试验步骤

2.3.2 工艺参数的选取

2.4 薄膜结构与性能表征

第3章 Ag-Ti-Cu/MoS2 薄膜组织与性能研究

3.1 Ag-Ti-Cu/MoS2复合薄膜表面形貌分析

3.1.1 Ag/MoS2薄膜表面形貌分析

3.1.2 Cu/MoS2薄膜表面形貌分析

3.1.3 Ti/MoS2薄膜表面形貌分析

3.2 Ag-Ti-Cu/MoS2复合薄膜结构分析

3.2.1 Ag-Ti-Cu/MoS2薄膜 X射线衍射分析

3.2.2 Ag-Cu-Ti/MoS2薄膜拉曼光谱分析

3.3 Ag-Cu-Ti/MoS2薄膜力学及摩擦学性能分析

3.3.1 Ag-Cu-Ti/MoS2薄膜纳米压痕分析

3.3.2 Ag-Ti-Cu/MoS2薄膜结合力分析

3.3.3 Ag/MoS2薄膜摩擦学性能分析

3.3.4 Cu/MoS2薄膜摩擦学性能分析

3.3.5 Ti/MoS2薄膜摩擦学性能分析

3.4 本章小结

第4章 Ti-Ag/MoS2薄膜组织与性能研究

4.1 Ti-Ag/MoS2薄膜组织结构分析

4.2 Ti-Ag/MoS2复合薄膜结构分析

4.2.1 Ti-Ag/MoS2薄膜 X射线衍射分析

4.2.2 Ti-Ag/MoS2薄膜拉曼光谱分析

4.3 Ti-Ag/MoS2薄膜薄膜力学及摩擦学性能分析

4.3.1 Ti-Ag/MoS2薄膜纳米压痕与结合力分析

4.3.2 Ti-Ag/MoS2薄膜摩擦学性能分析

4.4 本章小结

第5章 结论

参考文献

作者简历及攻读硕士学位期间取得的研究成果

独创性声明

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