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第一章概述
§1.1衍射光学元件及其分析方法
§1.2矢量衍射理论
§1.3本论文的主要研究内容
§1.4创新之处
参考文献
第二章严格的耦合波分析方法
§2.1一维矩形光栅
§2.1.1任意偏振
§2.1.2 TE模
§2.1.3 TM模
§2.1.4衍射效率
§2.2多层台阶结构光栅
§ 2.3 RCWA方法应用实例[10]
§2.4本章小结
参考文献
第三章标量衍射理论的局限性
§3.1标量衍射理论原理
§3.1.1光束正入射的位相分布
§3.1.2光束斜入射时的位相分布
§3.2标量理论的误差分析
§3.2.1光栅周期的影响
§ 3.2.2刻蚀深度的影响
§3.2.3光栅周期与刻蚀深度共同影响
§3.2.4折射率的影响
§3.2.5斜入射光束的影响
§3.2.6填充因子的影响
§3.2.7结果分析
§3.3本章小结
参考文献
第四章分频光栅的分析设计
§4.1分频光栅的设计原理
§4.2分频光栅的衍射行为分析
§4.2.1标量理论分析结果
§4.2.2严格的耦合波分析方法结果
§4.2.3刻蚀深度的优化
§4.3分频光栅的宽容度分析
§4.3.1刻蚀深度误差分析
§4.3.2工艺占空比误差分析
§4.3.3塌边结构分析
§4.3.4光束斜入射的影响
§4.4本章小结
参考文献
第五章采样光栅设计与衍射行为分析
§5.1 BSG的设计原理
§5.2 BSG衍射行为分析
§5.2.1 变周期的RCWA方法
§5.2.2 刻槽深度宽容度分析
§5.2.3 变周期对采样效率的影响
§5.3本章小结
参考文献
第六章衍射光栅分析软件构建与使用
§6.1衍射光栅分析软件的构建
§6.1.1 菜单项的构建
§6.1.2 数据输入区的实现
§6.1.3 结果显示区的实现
§6.2衍射光栅分析软件的使用
§6.2.1 菜单功能介绍
§6.2.2 软件各种功能介绍
§6.2.3 本软件的特点
§6.3本章小结
参考文献
总结与展望
攻读博士学位期间论文发表情况
致谢
