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中国科学技术大学学位论文相关声明
第一章文献综述
§1.1 ZnO的性质
§1.1.1 ZnO的结构性质
§1.1.2 ZnO的电学性质
§1.1.3 ZnO的光学性质
§1.2 ZnO薄膜的发光机制简介
§1.2.1激子复合发光
§1.2.2带间跃迁发光
§1.2.3能带与缺陷能级间的电子跃迁发光
§1.3 MgxZn1-xO合金的结构、作用及研究进展
§1.3.1 MgxZn1-xO的结构
§1.3.2 MgxZn1-xO的应用
§1.3.3 MgxZn1-xO的研究进展
§1.4 MgxZn1-xO薄膜的外延生长技术
§1.4.1磁控溅射
§1.4.2金属有机物气相沉积(MOCVD)
§1.4.3脉冲激光沉积(PLD)
§1.4.4分子束外延(MBE)
§1.4.5电子束反应蒸镀法
§1.4.6喷雾热解法
§1.4.7薄膜氧化法
§1.5选择题目背景及依据
参考文献
第二章溶胶凝胶工艺制备MgZnO/ZnO薄膜
§2.1溶胶凝胶技术的概述
§2.1.1.溶胶-凝胶技术的发展过程
§2.1.2.溶胶-凝胶技术的特点
§2.2溶胶凝胶制备薄膜的原理
§2.3溶胶-凝胶法制备薄膜的一般方法
§2.3.1浸涂法：
§2.3.2旋转涂覆法
§2.3.3喷涂法
§2.4溶胶凝胶制备ZnO及合金薄膜的工艺
§2.4.1溶胶的制备
§2.4.2溶胶凝胶制备薄膜的方法
§2.4.3薄膜的热处理
§2.5溶胶性质和工艺参数对薄膜的影响
§2.5.1溶胶性质对薄膜的影响
§2.5.2工艺参数对薄膜厚度的影响
§2.5.3工艺参数对薄膜性能的影响
参考文献：
第三章MgxZn1-xO薄膜的制备与表征方法
§3.1 MgxZn1-xO薄膜的制备
§3.1.1实验设备
§3.1.2实验原料
§3.1.3实验主要步骤
§3.2 MgxZn1-xO薄膜的性质的测量
§3.2.1结构性质的测量
§3.2.2光学性质的测量
§3.2.3表面形貌的测量
第四章MgxZn1-xO薄膜的表征结果与讨论
§4.1结构分析
§4.2表面形貌特征
§4.3光学性质
§4.4本章小结
参考文献：
第五章工艺参数对样品性能的影响
§5.1聚乙烯醇(PVA)的浓度对样品性能的影响
§5.1.1对结构性质的影响
§5.1.2对形貌性质的影响
§5.1.3对发光性质的影响
§5.2退火温度对样品性能的影响
§5.3前期预处理对样品性能的影响
§5.4本章小结
第六章结论
附录：攻读硕士期间已投出或发表的文章：
致谢
