基于方箱的X--Y气浮工作台特性研究

目录

摘要

1．1课题研究目的及意义

1．2气浮工作台的国内外研究现状

1．2．1国外研究现状

1．2．2国内研究现状

1．3本文主要研究内容

2基于方箱的X-Y气浮工作台的总体布局设计

2．1空气静压导轨的结构分类和工作原理

2．2气浮工作台的总体结构

2．2．1多孔集成节流器的设计

2．2．2X轴静压气浮导轨的结构设计

2．2．3Y轴静压气浮导轨的结构设计

2．2．4 Z轴机架的结构设计

2．3本章小结

3基于方箱的X-Y气浮工作台静态特性研究

3．1空气静压导轨的数学模型

3．1．1控制方程的推导

3．1．2气体润滑控制方程的离散

3．1．3空气静压导轨的性能求解

3．2边界条件及计算流程

3．2．1气膜流场的边界条件

3．2．2转角处耦合边界的处理

3．2．3二分加速收敛法

3．2．4计算流程

3．3X轴向静压气浮导轨的静态性能数值分析

3．3．1X轴向气浮导轨静态性能分析

3．3．2公称间隙优化分析

3．3．3节流器类型对静态特性的影响分析

3．4Y轴向静压气浮导轨的静态性能数值分析

3．4．1整体闭式气浮导轨静态性能分析

3．4．2整体开式气浮导轨静态性能分析

3．4．3公称间隙优化分析

3．5本章小结

4基于方箱的X-Y气浮工作台动态特性研究

4．1．1动态特性控制方程的推导

4．1．2动态特性控制方程数值求解

4．2基于方箱的X-Y气浮工作台动态特性分析

4．3动态特性数值计算流程

4．4动态特性结果及分析

4．4．1整体闭式气浮导轨动态性能分析

4．4．2整体开式气浮导轨动态性能分析

4．5本章小结

5基于方箱的X-Y气浮工作台实验研究

5．1静态实验测试与分析

5．1．1实验设备及实验原理

5．1．2实验步骤与数据处理

5．1．3实验结果及分析

5．2动态实验测试与分析

5．2．1动态测试实验台

5．2．2实验测试步骤

5．2．3实验结果及分析

5．3本章小结

6结论与展望

6．1结论

6．2展望

参考文献

攻读硕士学位期间发表的论文

致谢

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