测量系统分析在集成电路测试中的应用

摘要

测量系统分析（MSA，Measurement System Analysis）是ISO/TS16949汽车行业质量管理体系的核心要素之一。很多跨国公司在考察供应商时，都很注重审查供应商的质量管理体系，其中衡量供应商的质量保证能力的一个重要参考指标就是MSA的应用情况。同时，测量系统分析也是六西格玛质量管理方法的一项重要内容，是实施DMAIC持续质量改进的关键工具之一。　　本论文主要对测量系统分析的理论和方法作了较为系统的介绍，给出了计量型、计数型测量系统分析的主要特性指标及研究方法。结合本单位的实际情况，本文分析和讨论了集成电路测试过程中的测量系统的评价内容和方法，对如何在集成电路测试过程中应用测量系统分析提出了详细的实施方案，内容包括测试过程简介、测试系统构成介绍、测试的参数分类、影响测试过程的因素分析、模拟参数方法进行MSA的可行性分析、MSA仿真程序的开发、计量型测量系统的MSA、计数型测量系统的MSA、MSA程序书及指导书的制定等内容。　　本文用实例详细说明了应用Minitab统计软件进行MSA数据分析的方法，极大简化了MSA数据分析过程中的复杂计算。并开创性地提出应用模拟参数代替实际样件特性进行MSA研究的方法，解决了在研究集成电路测试过程这样的复杂测量系统时，大量样件选择和管理困难的问题，降低了研究的成本。相信本论文能够为从事MSA研究的同行提供借鉴，也希望引起更深入、更广泛的讨论，推动测量系统分析的研究和应用，为改进企业的质量管理提供帮助。

目录

封面

声明

中文摘要

英文摘要

目录

表格目录

插图目录

第一章 绪论

1.1课题研究的内容、背景和意义

1.2国内外研究及应用现状

1.3论文主要内容及框架

第二章 测量系统分析的理论和方法

2.1测量系统分析的概念

2.2测量系统的特性

2.3测量系统分析的时机

2.4测量系统分析的步骤

2.5测量系统的分析方法

2.6计量型测试系统的分析方法

2.7计数型测量系统的分析方法

第三章 集成电路测试简介

3.1测试系统（Tester）

3.2自动分拣机（Handler）

3.3测试板(Test Board)

3.4测试程序（Test Program）

3.5测试过程应用MSA的必要性

第四章 集成电路测试中的MSA

4.1电性测试中的参数分类

4.2影响电性测试的因素分析

4.3测量系统研究的方案

4.4模拟参数方法

4.5测量系统分析的准备

4.6 MSA仿真程序的开发

4.7计量型测量系统分析

4.8计数型测量系统分析

4.9 MSA与质量管理体系

第五章 总结

参考文献

发表论文和参加科研情况说明

致谢