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摘要
第1章绪论
1．1 生物医用金属材料
1．2 生物医用钛合金及其表面改性
1．2．1钛及钛合金表面改性方法
1．2．2磁控溅射镀膜技术及其应用
1．3 TiN薄膜的研究现状
1．3．1 TiN薄膜的结构与性质
1．3．2 TiN薄膜的应用
1．3．3 TiN的力学性能
1．3．4 TiN的腐蚀性能
1．4 电化学腐蚀与摩擦磨损性能
1．4．1电化学腐蚀
1．4．2摩擦磨损
1．5 本论文的研究目的和研究内容
1．5．1研究目的和意义
1．5．2主要研究内容
第2章实验方法
2．1 实验方案与流程
2．2 TiN梯度膜的制备
2．2．1镀膜设备
2．2．2基片预处理
2．2．3 TiN梯度膜的制备工艺
2．3 薄膜晶体结构和微观形貌的表征
2．4．1 显微硬度
2．4．2纳米硬度和弹性模量
2．4．3膜基结合力
2．5 电化学腐蚀及腐蚀磨损性能测试
2．5．1电化学腐蚀性能
2．5．2腐蚀磨损性能
2．6 其它性能测试
2．6．1表面粗糙度的测定
2．6．2接触角和表面能的测定
第3章纳米TiN梯度膜的结构与性能
3．1 基准沉积工艺参数的确定
3．1．1不同氮气流量对TiN单层膜的硬度的影响
3．1．2不同的氮气流量对TiN单层膜结合力的影响
3．2 不同工艺参数下TiN梯度膜的表面形貌
3．3 不同氮气流量对梯度TiN薄膜晶体结构的影响
3．4 不同工艺参数对TiN梯度膜力学性能的影响
3．4．1 不同工艺参数对TiN梯度膜显微硬度的影响
3．4．2不同工艺参数对TiN梯度膜结合力的影响
3．5 TiN梯度膜的微观结构和力学行为
3．5．1 TiN梯度膜的微观结构和成分分布
3．5．2 TiN梯度膜的力学变化
3．6 本章小节
第4章TiN梯度膜电化学腐蚀与腐蚀磨损性能
4．1 不同工艺参数下TiN梯度膜的电化学腐蚀性能
4．1．1 OCP曲线
4．1．2 EIS曲线
4．1．3 Tafel极化曲线
4．2 不同工艺参数对TiN梯度膜表面粗糙度的影响
4．3 不同工艺参数TiN梯度膜接触角和表面能的测定
4．4 TiN梯度膜的腐蚀磨损性能及机理研究
4．4．1腐蚀磨损性能
4．4．2磨损机制
4．4．3体积磨损率的计算
4．5 本章小结
第5章结论与展望
参考文献
致谢
东北大学;
