金刚石日盲紫外探测器阵列研究

目录

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摘要

第一章绪论

1．1引言

1．2超宽禁带半导体简介及日盲紫外探测研究

1．2．1超宽禁带半导体简介

1．2．2超宽禁带半导体日盲紫外探测研究

1．3金刚石概述

1．3．1金刚石基本特性

1．3．2金刚石合成研究

1．3．3金刚石深紫外应用研究

1．3．4金刚石日盲紫外成像研究

1．4选题依据及研究内容

1．4．1选题依据

1．4．2研究内容

第二章实验材料及设备

2．1引言

2．2实验材料及生长设备

2．2．1实验材料

2．2．2生长设备

2．3材料基础表征设备

2．3．2拉曼光谱(Raman)

2．3．3发光光谱(PL)

2．3．4原子力显微镜(AFM)

2．3．7X-ray光电子能谱(XPS)

2．4器件制备及性能表征设备

2．4．1真空蒸发台

2．4．2激光直写光刻系统

2．4．3半导体分析仪

2．4．4响应时间测试系统

2．4．5光响应测试系统

2．5本章小结

第三章多晶金刚石日盲探测器线阵研究

3．1引言

3．2多晶金刚石制备及基础性能表征

3．2．1多晶金刚石制备

3．2．2多晶金刚石基础性能表征

3．3多晶金刚石日盲探测器线阵制备及光电性能研究

3．3．1多晶金刚石日盲探测器线阵制备

3．3．2多晶金刚石日盲探测器线阵光电性能研究

3．4多晶金刚石日盲探测器线阵的成像研究

3．4．1日盲紫外成像系统搭建

3．4．2多晶金刚石日盲探测器线阵的成像应用

3．5本章小结

第四章多晶金刚石日盲探测器面阵研究

4．1引言

4．2多晶金刚石日盲探测器面阵制备及光电性能研究

4．2．1多晶金刚石日盲探测器面阵制备

4．2．2多晶金刚石日盲探测器面阵光电性能研究

4．3多晶金刚石日盲探测器面阵的成像研究

4．3．1日盲紫外成像系统搭建

4．3．2多晶金刚石日盲探测器面阵的成像应用

4．4本章小结

第五章结论

5．1总结

5．2展望

参考文献

个人简介及在校期间学术成果

致谢