声明
摘要
第一章 绪论
1.1 倾斜沉积技术
1.1.1 倾斜沉积技术简介
1.1.2 倾斜沉积薄膜的生长
1.1.3 柱状倾斜角与沉积角之间的关系
1.1.4 倾斜沉积薄膜的性质及应用
1.2 磁控溅射技术
1.2.1 磁控溅射原理
1.2.2 反应磁控溅射
1.2.3 脉冲磁控溅射
1.3 固体氧化物燃料电池
1.3.1 SOFC的工作原理
1.3.2 SOFC部件的材料选择与制备方法
1.4 Bruggeman有效介质理论
1.5 本论文的研究内容
第二章 ZrO2和YSZ薄膜的制备及表征
2.1 磁控溅射设备
2.2 薄膜样品的制备
2.2.1 基片的清洗
2.2.2 实验操作步骤
2.3 薄膜样品的表征
2.4 单电池测试
第三章 磁控溅射制备ZrO2薄膜
3.1 引言
3.2 溅射参数对ZrO2薄膜性能的影晌
3.2.1 氧气流量的影响
3.2.2 溅射功率的影晌
3.2.3 靶基距的影响
3.3 本章小结
第四章 磁控溅射倾斜沉积法制备多孔ZrO2薄膜
4.1 引言
4.2 沉积角的影响
4.2.1 实验条件
4.2.2 沉积角对其沉积速率和光学性质的影响
4.2.3 沉积角对其结构的影响
4.3 溅射功率的影响
4.3.1 实验条件
4.3.2 溅射功率对其沉积速率和光学性质的影响
4.3.3 溅射功率对其结构的影响
4.4 靶基距的影响
4.4.1 实验条件
4.4.2 靶基距对其沉积速率和光学性质的影响
4.4.3 靶基距对其结构的影响
4.5 本章小结
第五章 倾斜沉积多孔YSZ薄膜及其在SOFC中的应用
5.1 引言
5.2 衬底倾斜角度对YSZ薄膜性能的影响
5.2.1 实验条件
5.2.2 沉积角对YSZ薄膜光学和结构性能的影响
5.3 多孔YSZ薄膜用作过渡层对SOFC单电池性能的影响
5.3.1 YSZ过渡层及单电池的制备
5.3.2 SOFC单电池的微结构与性能
5.4 本章小结
参考文献
致谢