磁控溅射技术设计合成ZrB2/Mo纳米多层膜的研究

目录

声明

第一章 绪论

1.1 纳米硬质薄膜的研究背景

1.2 纳米多层膜

1. 纳米多层膜的结构

2．纳米多层膜的分类

3．纳米多层膜的制备

1.3 界面研究的意义和趋势

1.4 本文的研究背景及内容

1．本文的研究背景

2．本文的研究内容

第二章 实验及表征方法

2.1 薄膜样品制备

1. 实验中所用材料

2.实验仪器

3. ZrB2/Mo 薄膜样品的制备工艺

2.2 样品的微观组织表征

3. 透射电子显微镜（ TEM）

4. X射线光电子能谱仪（ XPS）

2.3 样品的性能表征

2.3.1 薄膜的力学性能测试

2.3.2 薄膜的摩擦性能测试

2.4 第一性原理研究

2.4.1 本文采用的计算函数

2.4.2 本文采用的分析方法

第三章 ZrB2/Mo纳米多层膜微观组织研究及性能分析

3.1 引言

3.2 ZrB2/Mo纳米多层膜的制备

3.3 ZrB2/Mo纳米多层膜微观组织研究及分析

3.3.1 调制比对 ZrB2/Mo纳米多层膜物质结构的影响

3.3.2 调制比对 ZrB2/Mo纳米多层膜调制结构的影响

3.4 ZrB2/Mo纳米多层膜机械性能研究及分析

3.4.1 调制比对 ZrB2/Mo纳米多层膜摩擦性能的影响

3.4.2 调制比对 ZrB2/Mo纳米多层膜力学性能的影响

3.5 本章小结

第四章 ZrB2/Mo纳米多层膜界面结构的第一性原理研究

4.1 引言

4.2 建立ZrB2/Mo纳米多层膜界面模型

4.3 结果与讨论

4.3.1 ZrB2/Mo界面模型的界面能和理想粘附功分析

4.3.2 ZrB2/Mo界面模型的态密度分析

4.3.3 ZrB2/Mo界面模型的电荷密度分析

4.3.4 ZrB2/Mo界面模型的差分电荷密度分析

4.4 本章小结

第五章 总结

参考文献

攻读硕士学位期间发表的学术成果

致 谢