基于柔顺板簧的平面微动平台大行程运动特性分析与控制研究

目录

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摘要

1．1课题来源

1．2研究背景及研究意义

1．3相关领域的国内外研究现状

1．3．1柔顾机构的构型与建模

1．3．2柔性微动平台的设计与建模

1．3．3柔性微动平台的运动测量

1．3．4高精度运动控制

1．4本文的主要研究内容

第2章柔顺板簧构件及导向机构的力学建模

2．1柔顺板簧构件的力学建模

2．2柔顾板簧导向机构的力学建模

2．2．1平行四杆导向机构

2．2．2复合平行四杆导向机构

2．2．3双平行四杆导向机构

2．3本章小结

第3章大行程柔性并联平面微动平台构型设计

3．1柔性微动平台构型设计

3．2平台实验系统搭建

3．3柔性微动平台性能测试

3．3．1正反向输入与工作范围测试

3．3．2阶跃响应与谐响应测试

3．4本章小结

第4章柔性微动平台的建模与分析

4．1．1柔性支撑和导向机构

4．1．2平台整体静力学建模

4．2动力学建模及分析

4．2．1柔性构件和机构

4．2．2平台整体动力学建模

4．3本章小结

第5章大行程柔性微动平台的运动测量

5．1大行程平面运动分析

5．2平台运动位移测量方法

5．2．1测量方案及光路系统

5．2．2光程差分析

5．3平台运动位移测量实验

5．4本章小结

第6章面向微动平台轴间耦合应力刚化的运动控制

6．1平台轴间耦合应力刚化

6．2闭环运动控制方法

6．2．1PID拄制

6．2．2H∞控制

6．3面向轴间耦合的扩张状态观测器设计

6．4自适应扩张状态观测器的协同控制

6．4．1离散参变动力学模型

6．4．2控制器设计

6．4．3实验结果

6．5本章小结

总结与展望

参考文献

致谢

攻读博士学位期间的研究成果