氧化硅双微环芯腔中的受限回音壁模式及其传感应用

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摘要

第1章绪论

1．1前言

1．2回音壁模式微腔简介

1．3光学传感技术

1．4光学捕获技术

1．5本论文的研究动机和主要工作

2．1前言

2．2回音壁光学微腔的模式分布

2．3回音壁光学微腔的特征参数

2．3．1品质因子

2．3．2模式体积

2．3．3自由光谱范围

2．3．4精细度

2．4回音壁模式光学微腔的耦合理论

2．5回音壁光学微腔的仿真方法

2．6环形谐振腔的仿真研究

2．7本章小结

3．1前言

3．2氧化硅双微环芯腔的结构设计

3．3氧化硅单微环芯腔的制备原理

3．4模拟计算结果

3．4．1双微环芯腔的偏振模式

3．4．2双微环芯腔TM模式下的特征

3．5本章小结

4．1前言

4．2双微环芯腔的传感特性

4．2．1光学传感机制

4．2．2双微环芯腔的灵敏度表现

4．3双微环芯腔的光学捕获特性

4．3．1光学捕获理论

4．3．2双微环芯腔的光学梯度力表现

4．4本章小结

第5章总结与展望

参考文献

攻读学位期间取得的研究成果

致谢