电喷镀辅助微窄槽掩膜电解加工工艺研究

目录

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摘要

第一章绪论

1．1引言

1．2Ni-P-ZrO2复合镀层的研究现状及制备方法

1．2．2Ni-P-ZrO2复合镀层的制备方法

1．3电喷镀技术

1．3．1电喷镀技术的原理

1．3．2电喷镀技术的研究现状

1．3．3电喷镀技术的应用

1．4微细电解技术

1．4．1电解技术的原理

1．4．2微细电解技术的研究现状

1．5课题研究目的及内容

第二章试验系统设计

2．1光刻电解加工系统设计

2．1．1光刻电解加工试验装置

2．1．2电解液及循环系统

2．1．3工件与工装夹具

2．1．4直流稳压稳流电源

2．2电喷镀试验装置

2．2．1三轴数控机床

2．2．2电镀工装夹具

2．2．3阳极喷嘴设计

2．3工件性能检测

2．3．1表面形貌观测

2．3．2结合力检测

2．3．3摩擦磨损性能检测

2．4其他试验设备

2．5本章小结

第三章侧流式光刻电解加工多物理场耦合仿真分析

3．1电解加工理论基础

3．1．1法拉第第一定律

3．1．2法拉第第二定律

3．2多物理场耦合数学模型

3．2．1流场仿真模型

3．2．2温度场仿真模型

3．2．3电场仿真模型

3．2．4稀物质传递模型

3．2．5耦合场分析

3．2．6几何模型

3．3仿真结果分析

3．3．1电流密度的仿真结果分析

3．3．2加工电压对微窄槽形貌影响的仿真结果分析

3．3．3加工时间对微窄槽形貌影响的仿真结果分析

3．4本章小结

第四章侧流式光刻电解加工试验

4．1光刻电解工艺流程

4．2试验设计

4．3加工电压对电解微窄槽形貌影响的试验研究

4．4加工时间对电解微窄槽形貌影响的试验研究

4．5本章小结

第五章微窄槽阵列Ni-P-ZrO2复合镀层的制备及工艺参数优化

5．1电喷镀工艺流程

5．1．1镀前处理

5．1．2镀液组成

5．1．3镀后处理

5．2电喷镀工艺参数范围

5．3微窄槽镀层制备工艺参数优化

5．3．1电流对微窄槽镀层性能的影响

5．3．2镀液流速对微窄槽镀层性能的影响

5．4电解加工参数对微窄槽镀层性能的影响

5．4．1电解电压对微窄槽镀层性能的影响

5．4．2电解加工时间对微窄槽镀层性能的影响

5．5微窄槽电镀对镀层摩擦磨损性能的影响

5．6本章小结

第六章总结与展望

6．1总结

6．2展望

参考文献

致谢