声表面波传感器温度和应变耦合效应研究

目录

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第一章 绪论

1.1 研究背景与意义

1.2 国内外研究现状

1.3 本论文的选题依据

1.4 本论文的研究内容

第二章 理论基础和实验方法

2.1 SAW和BAW模式

2.2 SAW器件

2.3 SAW谐振器的有限元仿真方法

2.4 SAW谐振器的制备方法

2.5 SAW谐振器的测试方法与性能表征

2.6 本章小结

第三章 LGS SAW谐振器温度和应变特性研究

3.1 SAW谐振器的设计与制备

3.2 LGS SAW谐振器的温度特性测试与分析

3.3 基于LGS衬底的温度传感器设计与制备

3.4 LGS SAW谐振器的应变特性测试与分析

3.5 本章小结

第四章 SiO2/LGS SAW谐振器温度和应变特性研究

4.1 SAW谐振器的设计与制备

4.2 SiO2/LGS SAW谐振器的温度特性测试与分析

4.3 SiO2薄膜对LGS SAW谐振器Q因子和K2的影响

4.4 SiO2薄膜对LGS SAW谐振器应变特性的影响研究

4.5 本章小结

第五章 基于差分结构的SAW应变传感器研究

5.1 实验样品设计与制备

5.2 基于两个SAW谐振器的应变传感器研究

5.3 基于三个SAW谐振器的应变传感器研究

5.4 本章小结

第六章 双模SAW应变传感器研究

6.1 BAW模式的测试与仿真

6.2 BAW模式的高温应变测试研究

6.3 基于双模的温度应变解耦方法

6.4 基于双模的温度应变解耦实验验证

6.5 本章小结

第七章 结论

7.1 总结

7.2 创新点

7.3 下一步研究工作

致谢

参考文献

攻读博士学位期间取得的成果