声明
致谢
摘要
第一章 绪论
1.1 研究背景
1.2 国内外现状
1.3 课题提出及意义
1.4 课题来源及主要工作内容
1.4.1 课题来源
1.4.2 主要研究内容
第二章 二维角位移传感器的方案设计
2.1 传统电容测量原理
2.1.1 极距变化型
2.1.2 相对面积变化型
2.2 比例式电容式角位移传感器测量原理
2.2.1 比例法电容测量原理介绍
2.2.2 比例式电容测量原理
2.2.3 比例法测电容特点及误差分析
2.3 传感器工作电路设计方案
2.4 传感器机械结构设计方案
2.5 二维角位移传感系统设计方案
第三章 角位移传感器机械结构设计
3.1 机械敏感部件设计与分析
3.1.1 定极板极瓣数目与测量范围分析
3.1.2 八极瓣电容角位移测量理论分析
3.1.3 动片的电气处理分析
3.1.4 定极板固定支架结构设计方案
3.2 定极板固定底座结构设计
3.3 约束定位传感机械结构设计
3.4 自感知机械结构设计
第四章 角位移传感器软硬件设计
4.1 主控芯片选择及工作电路设计
4.2 时钟电路设计
4.2 电源电路设计
4.3 复位电路设计
4.4 电荷转换电路设计
4.5 电容检测电路的介绍
4.6.1 电容测量电路设计
4.6.2 方波激励与延迟电路的设计
4.6.3 单片机直采处理电路设计
4.6.4 AD7708数字采集电路设计
4.7 数据通讯模块设计
4.8 显示模块设计
4.9 测量软件设计
第五章 系统实验
5.1 单片机直采模拟实验
5.2 AD7708数采模拟实验
5.3 角位移传感器标定实验
第六章 总结与展望
6.1 总结
6.2 展望
参考文献
攻读硕士学位期间发表的学术论文
合肥工业大学;