基于微光电阵列的MEMS器件振动在线测量系统研究

目录

第1章绪论

1.1 课题研究背景及意义

1.2 微小振动测量的国内外现状

1.2.1 国外研究现状

1.2.2 国内研究现状

1.3 主要研究内容及章节安排

第2章微小振动测量方案选取

2.1 需求分析

2.2 常见的微小振动测量方法的优缺点分析

2.2.1 激光三角法测振技术

2.2.2 激光多普勒测振技术

2.2.3 电容法测振技术

2.3 总体方案设计

2.4 本章小结

第3章基于微光电阵列的振动测量方法

3.1 测量方法的数学模型

3.2 测量方法的仿真分析

3.3 系统测量线性度的优化设计

3.4 系统测量灵敏度的优化设计

3.5 本章小结

第4章基于微光电阵列振动测量系统硬件设计

4.1 硬件整体设计

4.2 系统存在的噪声

4.3 噪声处理方法

4.3.1 光源噪声控制方法

4.3.2 光电阵列输出噪声控制方法

4.3.3 采集电路噪声控制方法

4.4 本章小结

第5章 MEMS器件振动测量系统性能测试及实验

5.1 微小振动测量信号处理系统性能测试

5.1.1 振动信号频率的获取

5.1.2 消除静态位移

5.1.3 振动幅值电压的获取

5.1.4 性能测试结果

5.2 微小振动测量系统静态标定

5.2.1 静态标定实验装置设计

5.2.2 静态标定实验及数据分析

5.2.3 重复性测量

5.3 微小振动测量系统动态实验

5.3.1 动态实验设计

5.3.2 动态实验及数据分析

5.4 本章总结

第6章总结与展望

6.1 研究总结

6.2 研究工作展望

参考文献

发表论文和参加科研情况说明

致谢