电子洁净厂房低浓度SO2净化性能及机理研究

目录

第1章 绪论

1.1 课题研究背景

1.1.1电子洁净室气态分子污染物现状及危害

1.1.2电子洁净室气态分子污染物的来源

1.1.3电子洁净室气态分子污染物控制标准

1.1.4电子洁净室气态分子污染物的控制技术

1.1.5电子洁净室常用化学过滤器

1.2 国内外相关研究现状分析

1.2.1表面化学性质和物理结构

1.2.2 吸附机理研究

1.2.3环境参数影响研究

1.3 课题研究内容及意义

1.3.1 课题研究内容

1.3.2 研究意义

第2章 典型净化材料低浓度性能测试

2.1 典型净化材料低浓度性能测试试验台

2.1.1参考标准对比

2.1.2 实验系统设计

2.1.3 温度控制及稳定性

2.1.4 污染物发生其稳定性

2.1.5 湿度控制及稳定性

2.3 二氧化硫浓度检测方法

2.3.1 API T100

2.3.2 甲醛吸收-副玫瑰苯胺分光光度法

2.3.3 测试方法对比

2.4材料性能测试

2.4.1 材料收集

2.4.2测试工况

2.4.3性能对比

2.5本章小结

第3章 吸附机理研究及吸附等温模型拟合

3.1 材料标准

3.1.1 BET表征

3.1.2 FTIR表征

3.1.3 XRF表征

3.2吸附机理研究

3.2.1 吸附产物分析

3.2.2 物理和化学吸附作用影响评价

3.3 参数影响实验研究

3.3.1 风速对吸附性能影响

3.3.2 湿度对吸附性能影响

3.4 吸附等温线模型

3.4.1 常用吸附等温线模型

3.4.2 拟合吸附等温线模型

3.4.3 吸附等温线模型实际应用评价

3.5本章小结

第4章 结论及展望

4.1 结论

4.2 展望

参考文献

发表论文和参加科研情况

致谢