可用于原子力显微镜的石英音叉结构优化及工艺研究

目录

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致谢

序

1.引言

1.1 课题背景和研究目的及意义

1.2 原子力显微镜概述

1.2.1 原子力显微镜工作原理

1.2.2 针尖与样品间的作用力

1.2.3 悬臂梁微位移检测方法

1.2.4 原子力显微镜操作模式

1.3 本论文的主要研究内容

2.石英音叉的研究基础

2.1 石英晶体特性

2.1.1 石英晶体物理特性

2.1.2 石英晶体压电效应

2.2 石英音叉机电特性

2.2.1 振动模态

2.2.2 石英音叉电气特性及相关理论推导

2.3 石英音叉的激发方法

2.3.1 电激发

2.3.2 机械激发

2.3.3 光热激发

3.石英音叉结构优化

3.1 有限元法概述

3.2 ANSYS 分析软件简介

3.3 石英音叉振动模态的有限元分析

3.3.1 石英音叉有限元分析规律性研究

3.3.2 石英音叉尺寸确定

3.4 石英音叉表面电极确定

3.5 石英基片的版图设计

3.6 本章小节

4.石英音叉谐振器的加工工艺

4.1 基本工艺流程设计

4.2 石英音叉谐振器的制作

4.2.1 掩模层的镀制

4.2.2 光刻工艺的研究

4.2.3 石英的湿法刻蚀工艺

4.2.4 表面电极的制作

4.3 本章小节

5.总结与展望

5.1 总结

5.2 展望

参考文献

作者简历

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