柔性基体上Ag/Ag--Zr颗粒膜的自形成及SERS性能研究

目录

第1章 绪论

1.1 选题背景

1.2 金属银及银合金薄膜的应用及研究进展

1.3 纳米Ag颗粒的应用及研究进展

1.3.1 银纳米颗粒的应用

1.3.2 银纳米颗粒的制备方法

1.4 拉曼光谱

1.4.1 表面增强拉曼散射的增强机理

1.4.2 表面增强拉曼散射基底的制备和应用

1.5 本文主要研究内容

第2章 样品制备、处理及表征方法

2.1 实验设备

2.2 样品制备

2.2.1 基体清洗

2.2.2 纯Ag、Ag-Zr合金薄膜的制备及退火处理、拉曼性能测试

2.3 薄膜样品表征方法

2.3.1 晶体结构表征

2.3.2 扫描电子显微镜

2.3.3 原子力显微镜

2.3.4 透射电子显微镜

2.3.5 激光显微拉曼光谱仪

第3章 复合靶溅射法制备Ag-Zr合金薄膜及SERS性能研究

3.1 前言

3.2 实验材料和方法

3.3 薄膜厚度对PI基体上Ag-Zr合金薄膜微观结构的影响

3.3.1 薄膜厚度对PI基体Ag-Zr合金薄膜微观结构的影响

3.3.2 薄膜厚度对PI基体上Ag-Zr合金薄膜表面形貌的影响

3.4 退火处理对PI基体上Ag-Zr合金薄膜物相结构的影响

3.4.1 不同温度退火对PI基体上Ag-Zr合金薄膜物相结构的影响

3.4.2 不同温度退火对PI基体上Ag-Zr合金薄膜表面形貌的影响

3.5 不同Zr含量对PI基体上Ag-Zr合金薄膜表面形貌的影响

3.6 基体类型对Ag-Zr合金薄膜表面形貌的影响

3.7 不同工艺参数沉积制备的Ag-Zr合金薄膜的SERS性能表征

3.8 本章小结

第4章 双靶共溅射法制备Ag-Zr颗粒膜及SERS性能研究

4.1 前言

4.2 实验材料和方法

4.3 基体类型对Ag-Zr颗粒膜表面形貌的影响

4.4 退火处理对PI基体上Ag-Zr颗粒膜表面形貌的影响

4.5 薄膜厚度对PI基体上Ag-Zr颗粒膜物相结构和表面形貌的影响

4.6 薄膜厚度对PI基体上Ag-Zr颗粒膜表面粗糙度的影响

4.7 Zr含量对室温下沉积态Ag-Zr薄膜表面自形成颗粒的影响

4.8 不同膜厚、Zr含量、基体制备的Ag-Zr颗粒膜的SERS性能

4.9 新型Ag-Zr颗粒膜的形成机理

4.10 本章小结

第5章 Ag薄膜/Ag-Zr颗粒膜微观结构和SERS性能研究

5.1 前言

5.2 实验方法

5.3 实验结果与讨论

5.3.1 复合靶溅射法制备的Ag-Zr颗粒薄膜覆盖Ag膜的表面形貌

5.3.2 Ag颗粒/Ag-Zr合金薄膜的SERS性能

5.3.3 双靶共溅射法制备的Ag-Zr颗粒膜覆盖Ag膜的表面形貌

5.3.4 Ag薄膜/Ag-Zr颗粒膜的SERS活性

5.3.5 Ag薄膜/Ag-Zr颗粒膜的SERS灵敏度

5.3.6 Ag薄膜/Ag-Zr颗粒膜的SERS重复性

5.4 沉积态纯Ag薄膜、Ag-Zr颗粒膜及自形成Ag颗粒的晶体结构

5.5 银颗粒形成机理分析

5.6 本章小结

第6章 结论

参考文献

致谢

攻读学位期间的研究成果