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独创性声明及关于论文使用授权的说明
第一章绪论
第二章微型泵致动技术
第三章无阀压电微泵的设计与制作
第四章有阀型压电微泵的研制
第五章微泵的进一步优化
第六章结论
在学期间发表的学术论文
致谢
王海宁;
中国科学院电子学研究所;
微电子机械系统; 微型泵; 无阀微泵; 被动阀; 压电双晶片;
机译:基于MEMS技术的基于MEMS技术的集成三维微螺线管巨型磁阻传感系统
机译:新型电磁膜微泵的研制
机译:驱动波形控制的双向无阀硅微泵的研制
机译:基于MEMS技术设计的微泵隔膜振动拾音
机译:具有平坦膜和凸起膜的基于MEMS的微泵的微粘度效应和表征。
机译:基于MEMS技术的基于非晶线的微型GMI磁传感器的设计与制作
机译:液压微泵和微泵的研制
机译:基于状态维护的分布式无线mEms技术
机译:集成电磁致动器,基于MEMS技术的微流体装置专用电磁微泵及其制造过程
机译:包括入口控制元件的微泵,用于其自吸
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