FBAR板上测试理论与方法

目录

声明

1. 绪论

1.1研究背景及意义

1.2.1 FBAR滤波器

1.2.2 FBAR滤波器测试

1.3论文结构

2. FBAR 滤波器测试研究基础

2.1FBAR 滤波器的性能指标

2.2.1 VNA

2.2.2 VNA误差来源

2.2.3 VNA误差模型

2.3.1 S参数理论

2.3.2 信号流图

2.4微带传输线理论

2.5本章小结

3. 板上测试夹具结构设计及测试验证

3.1夹具结构设计及TDR 阻抗匹配核验

3.1.1 夹具板材选型与微带传输线设计

3.1.2 微带线阻抗匹配研究

3.1.3 阻抗匹配的TDR仿真复核

3.2实验验证

3.2.1 片上测试

3.2.2 板上测试

3.2.3 实测数据处理

3.3结果与讨论

3.3.1 片上测试与板上测试结果对比

3.3.2 板上测试结果S12和S21曲线对比

3.3.3 板上测试结果S11和S22曲线对比

3.4本章小结

4. 板上测试夹具校准标准件设计

4.1校准标准件设计

1. Thru校准标准件

2. Short校准标准件

3. Open校准标准件

4. Load 校准标准件

5. Line校准标准件

4.2校准标准件验证

4.3本章小结

5. 测试数据去嵌入校准

5.1误差模型修正

5.2含误差项的S 参量求解

5.3误差项求解及测试数据去嵌

5.3.1 含误差项校准测试数据分析

5.3.2 误差项提取及测试数据去嵌

5.4本章小结

6. 校准软件设计及校准结果分析

6.1设计思路

6.2开发工具

6.2.1 软件设计

6.2.2 误差计算算法实现

6.3校准结果分析

6.4本章小结

7. 结论

7.1论文的主要工作

7.2论文的创新点

7.3后续工作展望

致 谢

参考文献

攻读学位期间取得的研究成果