AMR线性磁阻传感器优化

目录

声明

第一章绪论

1.1 研究工作的背景与意义

1.2 AMR线性磁阻传感器的国内外研究历史与现状

1.3 本文的结构安排

第二章 AMR线性磁阻传感器原理与制备分析方法

2.1 AMR 线性磁阻传感器原理

2.1.1 AMR效应原理

2.1.2 Barber电极偏置原理

2.2 惠斯通电桥结构原理

2.3 AMR 线性磁阻传感器制备方法介绍

2.3.1 磁控溅射

2.3.2 电子束蒸发

2.3.3 光刻

2.3.4 划片机

2.4 AMR线性磁阻传感器测试分析方法

2.4.1 线条关键尺寸测试仪

2.4.2 台阶仪

2.4.3 AMR线性磁阻传感器测试平台

2.5 本章小结

第三章 AMR线性磁阻传感器的数值仿真研究

3.1 有限元数值仿真方法介绍

3.1.1 偏微分方程求解软件 FeniCS

3.1.2 有限元多物理场耦合数值仿真软件 COMSOL Multiphysics

3.2 基于Barber 电极的AMR线性磁阻传感器的输出电流仿真研究

3.2.1 仿真计算步骤

3.2.2 输出电流仿真研究结果分析

3.3 基于Barber 电极的AMR线性磁阻传感器的电流分布和自偏置效应仿真研究

3.3.1 仿真计算步骤

3.3.2 仿真计算结果分析

3.4 本章小结

第四章 AMR线性磁阻传感器的设计制备方法与性能分析

4.1 晶圆级传感单元图形设计

4.1.1 传感单元图形

4.1.2 晶圆阵列排布

4.2 AMR线性磁阻传感器制备方法与步骤

4.2.1 NiFe层制备方法与步骤

4.2.2 Barber电极层制备方法与步骤

4.3 AMR线性磁阻传感器关于Barber电极角度依赖性与性能分析

4.4 AMR线性磁阻传感器关于Barber电极间距依赖性与性能分析

4.5 本章小结

第五章全文总结与展望

5.1 全文总结

5.2 全文展望

致谢

参考文献

攻读硕士学位期间取得的成果