声明
第一章 绪论
1.1 微波等离子体概述
1.2 微波等离子体装置控制系统国内外发展现状
1.3 本论文的结构安排
1.4 本章小结
第二章 系统总体设计
2.1 微波等离子材料制备方案设计
2.2 微波等离子体材料制备系统总体设计
2.2.1 流量计模块
2.2.2 温度控制模块
2.2.3 微波源模块
2.3 软件设计关键技术
2.3.1 嵌入式实时操作系统
2.3.2 emWin 图形库
2.4 本章小结
第三章 系统硬件设计
3.1 主控电路硬件结构总体设计
3.2 主控芯片介绍与外围电路设计
3.3 电源电路设计
3.4 触摸屏及其接口电路设计
3.4.1 触摸屏驱动芯片接口电路设计
3.4.2 触摸屏控制芯片接口电路设计
3.5 通讯接口电路设计
3.5.1 200W微波源通讯接口电路设计
3.5.2 485数字通讯电路设计
3.6 PCB设计
3.7 本章小结
第四章 系统软件设计
4.1 材料制备系统软件总体设计
4.2.1 软件开发环境
4.2.2 操作系统移植
4.2.3 emWin 图形库移植
4.3 操作系统任务设计
4.3.1 微波源控制任务
4.3.2 流量计控制任务
4.3.3 emWin 任务
4.4 材料制备平台主要驱动设计
4.4.1 触摸屏驱动设计
4.4.2 RS485驱动设计
4.5 emWin 图形界面设计
4.6 材料制备功能程序设计
4.7 材料制备系统预警与保护程序设计
4.8 数据记录功能程序设计
4.9 本章小结
第五章 系统实现与测试
5.1 硬件电路的制作与测试
5.2 微波源模块测试
5.3 流量计模块测试
5.4 温控模块测试
5.5 材料制备测试
5.6 本章小结
第六章 总结与展望
6.1 全文总结
6.2 后续工作展望
致谢
参考文献
电子科技大学;