微电流的铯离子源设计

目录

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第一章 绪论

1.1 研究背景

1.2 离子源研究现状

1.3 离子源的应用

1.4 课题研究意义

1.5 论文主要工作

第二章 表面电离理论及电子离子光学理论概述

2.1 表面电离现象

2.2 电离度与电离系数

2.3 电子离子光学理论概述

2.4 本章小结

第三章 铯离子源的制备与测试

3.1 铯离子源结构

3.2 铯离子源的测试

3.3 本章小结

第四章 离子枪的仿真设计

4.1 Opera3D软件

4.2 离子发射面和栅极的设计

4.3 聚焦系统的设计

4.4 收集极电位仿真

4.5 最终结构模拟

4.6 本章小结

第五章 铯源离子枪的整体装配与测量

5.1铯源离子枪的结构设计

5.2 加工零件的处理

5.3 铯离子枪装配

5.4 铯离子枪的束流束斑测试

5.5 本章小结

第六章 总结与展望

6.1 研究工作总结

6.2 工作展望

致谢

参考文献

攻读硕士学位期间取得的成果