基于水平型霍尔器件及其三轴应用的优化研究

目录

声明

第一章绪论

1.1 课题研究背景

1.2 国内外研究历史与现状

1.2.1 水平霍尔传感器

1.2.2 三轴霍尔传感器

1.3 本文的主要贡献与创新

1.4 本论文的结构安排

第二章霍尔传感器相关理论

2.1 水平霍尔器件工作原理

2.2 水平霍尔器件性能分析

2.2.1 灵敏度

2.2.2 噪声

2.2.3 失调电压

2.3 基于磁集中器的三轴霍尔传感器

2.4 本章小结

第三章霍尔器件有限元仿真分析及模型设计

3.1 COMSOL 有限元仿真平台

3.2 水平型霍尔器件模型构建

3.3 水平型霍尔器件设计与仿真

3.3.1 水平霍尔器件的材料属性与器件形状

3.3.2 水平霍尔器件接触电极长度

3.3.3 正十字形霍尔器件宽长比

3.4 本章小结

第四章三轴霍尔传感器设计及仿真

4.1 三轴霍尔传感器工作原理

4.2 磁集中器性能分析

4.3 三轴霍尔传感器设计和仿真

4.4 本章小结

第五章水平型霍尔器件电路模型及接口电路

5.1 水平型霍尔器件Verilog-A电路模型设计

5.2 霍尔器件接口电路设计

5.2.1 霍尔器件失调及电流旋转电路

5.2.2 减法放大电路

5.2.3 采样保持与减法电路

5.3 电路仿真分析与版图设计

5.3.1 水平霍尔传感器Verilog-A模型仿真

5.3.2 电流旋转电路仿真

5.3.3 减法放大电路仿真

5.3.4 采样保持与减法电路仿真

5.3.5 整体电路仿真结果

5.3.6 霍尔器件与失调消除电路版图设计

5.4 本章小结

第六章全文总结与展望

6.1 全文总结

6.2 后续工作展望

致谢

参考文献

攻读硕士学位期间取得的成果